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分类号 含义
G 物理
G03 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F 图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
1/00 用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
1/02 .(转入 G03F 1/88)
1/04 .(转入G03F 1/90)
1/06 .(转入G03F 1/92)
1/08 .(转入G03F 1/00-G03F 1/86)
1/10 .(转入G03F 1/00-G03F 1/86)
1/12 .(转入G03F 1/00-G03F 1/86)
1/14 .(转入G03F 1/00-G03F 1/86)
1/16 .(转入G03F 1/00-G03F 1/86)
3/00 分色;色调值的校正
5/00 网屏印刷法;其所用网屏
7/00 图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
9/00 原版、蒙片、片框、照片、图纹表面的对准或定位,例如自动地